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缩写 英文全称 翻译
UPE Ultra-high molecular weight polyethylene 超高分子聚乙烯
WET Wet 湿法刻蚀
PH Photolithography 光刻
EH Dry etching 干法刻蚀
TF Thin Film 薄膜
DF Diffusion growth 扩散生长
CMP Chemical Mechanical Polishing 化学机械研磨
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