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在VOCs热氧化设计中，有一个很重要的参数是VOCs的破坏效率。决定破坏效率的主要因素有三个，也叫“3T”，即：时间（Time）、温度（Temperature）和湍流（Turbulance）。还有第四个需要考虑的因素是剩余氧含量（过剩空气系数）。VOCs 破坏效率在这四个参数都被设置为合适的范围内时，可高达 99.99%以上。
操作温度是影响 VOCs 破坏效率最重要的因素。一般来说，热氧化器的操作温度在760~1200℃。用于估计破坏某有机物所需温度的方法是其自燃点温度（ATI）。自燃点温度是可燃混合物可在环境中吸收足够的热量以发生自燃的温度。自燃点温度高的物质通常更加难于破坏。一般 VOCs 的自燃点温度如表 3-1 所示。
| 化合物 | 自燃温度℃ | 化合物 | 自燃温度℃ |
| 丙酮（C3H6O） | 465 | 硫化氢（H2S） | 260 |
| 苯（C6H6） | 592 | 马来酸酐（C4H2O3） | 477 |
| 丁二烯（C4H6） | 449 | 甲烷（CH4） | 537 |
| 正丁醇（C4H10O） | 367 | 甲醇（CH4O） | 470 |
| 一氧化碳（CO） | 609 | 甲乙酮（C4H8O） | 516 |
| 氯苯（C6H5Cl） | 674 | 二氯甲烷（CH2Cl2） | 640 |
| 二甲基硫醚（C2H6S） | 206 | 硝基苯（C6H5NO2） | 496 |
| 乙烷（C2H6） | 510 | 苯酐（C8H4O3） | 584 |
| 乙酸乙酯（C4H8O2） | 486 | 丙烷（C3H8） | 468 |
| 乙醇（C2H6O） | 426 | 丙烯（C3H6） | 504 |
| 乙苯（C8H10） | 466 | 苯乙烯（C8H8） | 491 |
| 一氯乙烷（C2H5Cl） | 518 | 三氯甲烷（CHCl3） | 500 |
| 二氯乙烯（C2H2Cl2） | 413 | 甲苯（C7H8） | 536 |
| 乙二醇(CH2OH)2 | 413 | 醋酸乙烯（C4H6O2） | 427 |
| 氰化氢HCN（无机） | 538 | 二甲苯（C8H10） | 495 |
